MEMS技术近些年在各应用领域高速发展,MEMS以其降低功耗、提高精度以及智能化的优势占领着不容小视的市场地位。据了解,目前MEMS传感器主要被应用于汽车、医疗、消费及工业领域。
以目前的市场布局来看,汽车工业是MEMS传感器的一个非常重要的应用领域。通常在每台汽车上就会有几十到几百个传感器,而汽车智慧化的发展趋势也将促进汽车市场对传感器的需求。其应用方向和市场需求包括车辆的防抱死系统(ABS)、电子车身稳定程序(ESP)、电控悬挂(ECS)、电动手刹(EPB)、斜坡起动辅助(HAS)、胎压监控(EPMS)、引擎防抖、车辆倾角计量和车内心跳检测等等。其中电子车身稳定程序ESP得到众MEMS厂商的高度关注。由于其主动防滑功能要求更多的传感器和先进的处理系统,因此将带动汽车电子MEMS传统应用市场的需求。
其次的医疗保健市场也逐渐成为MEMS传感器应用的又一大市场。随着人口老龄化和中国医疗保健系统的健全,各种远距离监护和高精度治疗设备将越来越多地被引入。MEMS具有微型的特点,可以代替器官植入、微量检测,主要的发展方向是血管内手术和颅内手术以及细胞手术。
换个角度,从消费领域看MEMS传感器的发展,MEMS传感器在消费电子领域中主要应用于运动/坠落检测、导航数据补偿、游戏/人机界面、电源管理、GPS增强/盲区消除、速度/距离计数、其他体育和保健应用等等。这些MEMS技术都在很大程度上提高了用户体验,并带来了全新的电子消费产品。其中加速度计是该市场中第一大应用产品,而近期陀螺仪增长迅速,已经成为继加速度计后的第二大应用产品。
此外,MEMS传感器在工业领域也有着非常多的应用。小体积、低成本的MEMS传感器越来越多地用在各种机械振动监测上,它可以用来监测马达、轴承等的振动,从而实现预见性维护;利用MEMS加速度计实现的倾角仪也被广泛用在各种工业测量设备上;还有遥控直升机的伺服系统、两轮车的平衡系统、天线稳定平台等。
小结:纵观全球MEMS传感器市场,MEMS技术在未来会凸显更智能、更稳定的高集成度MEMS传感器模块,这也就要求目前半导体厂商需要与时俱进,跟上科技发展的脚步,以适应不同市场的需求。