MEMS压力传感器适用医疗器械 又一新突破

2014-04-17 14:22 来源:电子信息网 作者:云际

对于MEMS压力传感器,其稳定耐用的特性是首要考虑因素。日前,一种可植入的小型传感器受到人们的关注,这款传感器其实是将一个稳定的膜片与易传感的硅纳米线结合在一起。原则上来讲,设计一个小型的压力传感器是很简单的:一个压力变形隔膜嵌入一个压敏电阻器就可以了,这个压敏电阻器必须是由硅纳米线等会由压力引起抗电阻性变化的材料制成。但事实上却会出现问题,包括电路设计和和脆弱的组件,任何地方出现差错都是商用传感器的致命伤。

MEMS压力传感器适用医疗器械 又一新突破

这款微小MEMS压力传感器的原理是利用隔膜吧很小的压力变化传到到压敏电阻器,但由于隔膜本身很小,同时又要抵抗变形和破损,因此,这个隔膜材料的选择就显得至关重要。最终产品决定利用于二氧化硅来展现完美的压力传感性能。然而,二氧化硅虽有优越的传感性能,但也不能战胜易弯曲性这个弱点。所以,罗将解决方案改为用双层的二氧化硅,同时将压阻式的硅纳米线放在两者中间,顶层再加一层性能稳定的氮化硅。通过蚀刻氮化硅和变化厚度、调整硅纳米线,这个团队最终发现了最优的组合。最后的传感器成功地满足了抵抗变形和机械损坏的同时仍然可以提供在压力感应下电输出的线性变化,以便符合高精度的医疗器械应用要求。

MEMS压力传感器

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