1 引言
可靠性是指产品在规定条件下和规定时间内，完成规定功能的能力。可靠性是对一种产品投入使用时无故障工作能力的度量。产品可靠性的高低是表示产品在规定条件下、规定时间内，完成规定功能可能性的大小。可靠性通常采用可靠度、失效率及MTBF来表示，传感器等元器件可靠性水平的高低通常用失效率来表示，而设备可靠性多用可靠度、MTBF、有效度等指标来表示。
压力是生产过程和科学实验中进行测量和控制的最基本参数之一，而对压力进行测量的并能把压力通过一定的规律转换成电信号的压力传感器就成为测量这一信号的重要元器件，它被广泛地应用在工业、石油、化工、生物医学、航海、航天、航空等领域的生产和科研当中。传感器的可靠性是十分重要的，它直接关系着使用该传感器的系统的性能，影响着生产和建设的质量和进展速度，甚至会带来严重的人身安全问题。在传感器的使用过程中，其可靠性概念可以作为无故障性，即作为保证按技术条件所要求的极限的使用指标的性能总合性。当变换具体物理量的传感器失效时，就可明白破坏其元件机械完整性以及输出测量参数偏差而导致整个安装此传感器的产品不能完成任务的组成事件。而在传感器的生产过程中，为了保证压力传感器对压力信号的测量、传递的精确性、稳定性及一致性，就必须对压力传感器的测试过程的可靠性进行分析。
2 压力传感器测试原理
压力传感器包括利用压阻效应制造出来的压阻式压力传感器，利用压电效应制造出来的压电式压力传感器、利用应变效应制造的应变式压力传感器等，本文仅以压阻式压力传感器为例，说明其测试原理。
压阻式压力传感器芯体如图1，R1，R2，R3，R4是4片电阻片，当受外力作用时，电阻片R1，R3亦受拉伸作用电阻增大，R2，R4电阻减小，这样外力F的作用使4个电阻片电阻值发生变化。传感器上的电阻R1，R2，B3，R4接成图2所示的直流桥路。cd两端接稳压电源E，ab两端为电桥电压输出端，输出电压为U0，如图2。
式(2)就是电桥平衡条件。在传感器上贴的电阻片是相同的4片电阻片，在理想状态下，设其电阻值相同，即有
R1=R2=R3=R4=R (3)
所以传感器不受外力作用时，电桥满足平衡条件，a，b两端输出的电压U0=0。当梁受到载荷F的作用，如图3所示，电桥不平衡，则有
从式(6)可知电桥输出的不平衡电压U0是和电阻的变化△R成正比的，这就是不平衡电桥的工作原理。显然测量出的U0的大小可反映外力F的大小。此外由式(6)还可知，若要获得较大的输出电压U0，可以采用较高的电源电压E，同时亦说明电源电压不稳定将给测量结果带来误差。在实际的生产测试过程中，桥臂的4个电阻是不可能完全相同的，测试时所加的环境条件同样也会对传感器的输出产生影响。这样，在环境条件发生变化时，它们的增量△R也是不完全相同的，最终导致测试的结果和理想的结果产生偏差。
3 压力传感器测试过程
压力传感器的测试主要是指温度输出特性测试和压力输出特性测试。温度输出特性测试主要是指压力传感器在不同的温度条件下对传感器输出的影响，主要是指零点温漂和灵敏度温漂;压力输出特性是指压力在传感器的同一环境条件下对不同压力所反映的输出特性，它主要是测量传感器的静态特性指标。
压力传感器测量系统主要同由压力源、被测试压力传感器、测量电路和显示记录四部分组成，它们的关系如图4所示。
待测的压力传感器在一定的环境条件(高低温环境试验箱提供)下，并由电源供电后，对压力源(活塞式压力计或数字压力控制器)产生的信号进行测量，测量后产生的信号通过测量电路(多通道数据采集器)最终传输到显示设备(计算机)进行显示和记录。
